±Ç¼®ÁØ ±³¼ö: ¼±´Ü°øÁ¤¿¡¼ EUV vs. DUV ¼öÀ² ºñ±³
SMIC°¡ Áö±Ý 7³ª³ë ³ëµå¿¡¼ ÇÏ´Â °Íó·³ ·ÎÁ÷ 2³ª³ë ³ëµå¸¦ EUV ¾øÀÌ DUV SAQP·Î ÆÐÅÍ´× ÇÏ·Á¸é °øÁ¤ ¼ö´Â EUV ´ëºñ 300°³ ÀÌ»ó Áõ°¡ÇÏ°í, ¼öÀ²Àº ¾à 7%·Î 1/8 ¼öÁØ¿¡ ºÒ°úÇÒ °ÍÀ̶ó°í ÃßÁ¤ÇÔ. ¸Þ¸ð¸®µµ »óȲÀº ºñ½ÁÇÔ.